高純鎢合金靶材制備工藝的研究.pdf_第1頁(yè)
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1、高純鎢合金靶材作為物理氣相沉積(PVD)鍍膜耗材應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)中，制作成的鎢合金薄膜起到電阻層、柵極和擴(kuò)散阻擋金屬層的作用。隨著工業(yè)技術(shù)和科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)靶材的純度和微觀組織要求越來越高。本研究闡述了一種高效率、低成本的方法，可制備出高密度、細(xì)晶粒、微觀組織均勻的高純(≥99.995％)鎢鈦（W-10Ti）合金靶材和高純(≥99.99％)鎢硅（W-30Si）合金靶材。主要研究進(jìn)展如下:
　　(1)通過對(duì)行業(yè)內(nèi)鎢合金靶

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