脆性材料精密研拋加工工藝研究.pdf

1、針對脆性材料精密研磨拋光加工過程中主要依賴工人加工經驗的情況，為了滿足新型超精密單平面研磨機在加工過程中減少對工人加工經驗的要求，本文以Al2O3陶瓷閥片和BK7光學玻璃為研究對象，研究了加工工藝參數對這兩種材料加工質量的影響；建立了相應的加工工藝數據庫系統(tǒng)；設計了超精密單平面研磨機控制系統(tǒng)。從而使得本課題組研發(fā)的超精密單平面研磨機在加工過程中能從數據庫中讀取相關加工參數信息，實現工藝優(yōu)化組合與加工效果預報功能。 本文主要的研究

2、結論如下： 研磨時間、壓力、研磨液流量、研磨液濃度、磨料粒度、研磨盤轉速等加工參數對工件表面粗糙度和材料去除量有不同程度的影響。 對于Al2O3陶瓷閥片，隨著研磨時間延長、研磨液流量增大、磨料粒度和研磨液濃度減小，表面粗糙度降低；隨著研磨時間延長、研磨壓力、磨料粒度、研磨液流量的增大和研磨盤轉速增加，材料去除量增大；隨著研磨壓力增大，表面粗糙度先減小后增加；隨著研磨盤轉速增加，表面粗糙度先增大后減??；隨著研磨液流量增加，

3、材料去除量先增大后減少。 對于BK7光學玻璃，隨著研磨時間延長和磨料粒度減小，表面粗糙度減?。浑S著研磨壓力增加、研磨液濃度減小和研磨液流量增大．表面粗糙度先減小后增大；研磨盤轉速增加，表面粗糙度先增大后減??；隨著研磨時間延長、研磨壓力增大、磨料粒度增大、研磨液濃度增大，材料去除量增大；研磨盤轉速和研磨液流量增大，材料去除量先增大后減少。 通過正交試驗以符合加工表面粗糙度要求所用的加工時間最少為目標，對兩種材料研磨拋光加工