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文檔簡介
1、超輻射發(fā)光二極管(SLD)的性能不同于半導體激光器和半導體發(fā)光二極管，它是最近十幾年發(fā)展起來的一種新型光電器件，是實現(xiàn)外腔式半導體激光器、光纖光柵激光器、半導體光放大器的關鍵元器件，在中、短程光纖通信，光纖陀螺，傳感計測和醫(yī)療衛(wèi)生等領域有著廣闊的應用。實現(xiàn)半導體超輻射發(fā)光管的關鍵技術是解決超輻射發(fā)光二極管芯端面超低反射率的增透膜技術問題。
本文研制的1310nm超輻射發(fā)光管是以GaAs晶體自然解理面為襯底材料，采取在芯片端
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