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文檔簡介
1、可見光垂直腔面發(fā)射激光器具有易于集成、能實現(xiàn)高速調制和功耗小等優(yōu)點，在激光打印、光顯示等眾多領域應用廣闊。
傳統(tǒng)的VCSEL具有散熱性能差、電流注入不均勻等缺點，本文制備的新型VCSEL提升了VCSEL的散熱性能，也解決了VCSEL電流注入不均勻的問題：首先，VCSEL一般是圓環(huán)腐蝕槽結構，這種結構使得VCSEL的散熱性能差，我們設計了一種新型的橋型腐蝕槽結構，提高了VCSEL的散熱性能；每當VCSEL的出光孔較大時，它會出現(xiàn)
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