可見光垂直腔面發(fā)射激光器陣列的研制及特性分析.pdf_第1頁(yè)
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1、分類號(hào)：——UDC：密級(jí)：虹墨長(zhǎng)咬、編號(hào)：——可見光垂直腔面發(fā)射激光器陣列的研制及特性分析StudyontheFabricationandCharacteristicsofVisibleVerticalCavitySurfaceEmittingLaserarrays學(xué)位授予單位及代碼：籃壹墨王左芏f!Q!鰻2學(xué)科專業(yè)名稱及代碼：塑堡皇王芏fQ8Q鯉12研究方向：坐昱生邀盤墨物堡生墨掛申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：亟——一指導(dǎo)教師：墨籃監(jiān)塾塑研宄生：旦壹

2、亟論文起止時(shí)間：2010】0一∞lLl2摘要垂直腔面發(fā)射激光器(VerticalCavitySurfaceEmittingLasers，簡(jiǎn)稱VCSELs)以其閩值電流低，易于形成二維陣列等優(yōu)點(diǎn)在光通信，光互連，光計(jì)算等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。本論文設(shè)計(jì)并制備了可見光VCSEL陣列，主要內(nèi)容如下：本論文闡述了VCSEL的基本原理。為了解決VCSEL的電流注入不均勻問題t殳計(jì)出一種新型的電極結(jié)構(gòu)，使器件在較大孔徑時(shí)仍能撤射。并改進(jìn)了它的腐蝕槽

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