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1、分類號(hào):——UDC:密級(jí):虹墨長(zhǎng)咬、編號(hào):——可見光垂直腔面發(fā)射激光器陣列的研制及特性分析StudyontheFabricationandCharacteristicsofVisibleVerticalCavitySurfaceEmittingLaserarrays學(xué)位授予單位及代碼:籃壹墨王左芏f!Q!鰻2學(xué)科專業(yè)名稱及代碼:塑堡皇王芏fQ8Q鯉12研究方向:坐昱生邀盤墨物堡生墨掛申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:亟——一指導(dǎo)教師:墨籃監(jiān)塾塑研宄生:旦壹
2、亟論文起止時(shí)間:2010】0一∞lLl2摘要垂直腔面發(fā)射激光器(VerticalCavitySurfaceEmittingLasers,簡(jiǎn)稱VCSELs)以其閩值電流低,易于形成二維陣列等優(yōu)點(diǎn)在光通信,光互連,光計(jì)算等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。本論文設(shè)計(jì)并制備了可見光VCSEL陣列,主要內(nèi)容如下:本論文闡述了VCSEL的基本原理。為了解決VCSEL的電流注入不均勻問題t殳計(jì)出一種新型的電極結(jié)構(gòu),使器件在較大孔徑時(shí)仍能撤射。并改進(jìn)了它的腐蝕槽
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