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1、垂直腔面發(fā)射激光器(VCSEL)具有閾值電流低、易于實(shí)現(xiàn)二維陣列等優(yōu)點(diǎn)，因此廣泛應(yīng)用于激光顯示、激光通信以及半導(dǎo)體激光器泵浦等眾多領(lǐng)域。
可見(jiàn)光VCSEL的熱特性問(wèn)題一直是影響器件性能的重要因素之一。本文從VCSEL的熱產(chǎn)生機(jī)理、熱傳導(dǎo)方式以及計(jì)算分析方法等方面對(duì)器件的熱特性進(jìn)行了理論分析;與此同時(shí)使用有限元分析軟件ANSYS仿真模擬了不同封裝方法制備的可見(jiàn)光VCSEL的穩(wěn)態(tài)溫度場(chǎng)分布，分別使用In焊料、AuSn焊料以及導(dǎo)電膠
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