垂直腔面發(fā)射激光器及其光電特性分析.pdf

1、垂直腔面發(fā)射激光器(Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser，簡(jiǎn)稱VCSEL)是一種半導(dǎo)體激光器，因其具有很低的閾值電流，易于光纖耦合，很大的信息傳輸量，便于二維集成等特性得到了廣泛的應(yīng)用。本論文設(shè)計(jì)并制備了新型結(jié)構(gòu)的VCSEL并對(duì)其光電特性進(jìn)行了檢測(cè)，主要內(nèi)容如下:
　　本論文詳細(xì)闡述了VCSEL的基本原理及其應(yīng)用。對(duì)VCSEL的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了分析，由于傳統(tǒng)VCSEL一般為圓柱狀對(duì)稱結(jié)構(gòu)，具有偏振

2、不穩(wěn)定性，容易產(chǎn)生偏振態(tài)變換現(xiàn)象。為了解決上述問(wèn)題，本文對(duì)VCSEL的偏振控制進(jìn)行了探討，對(duì)國(guó)內(nèi)外偏振的控制方法進(jìn)行了研究。我們的主要工作有兩個(gè):
　　1、提出了一種偏振控制方法，即刻蝕橢圓形臺(tái)面VCSEL，對(duì)它的偏振特性進(jìn)行了改善。
　　2、對(duì)VCSEL的電極結(jié)構(gòu)進(jìn)行了優(yōu)化，設(shè)計(jì)了一種新型的電極結(jié)構(gòu)即雙橢圓形電極結(jié)構(gòu)，改善了VCSEL的出光質(zhì)量。
　　我們還對(duì)橢圓結(jié)構(gòu)VCSEL制備的關(guān)鍵工藝進(jìn)行了研究，通過(guò)實(shí)驗(yàn)我們制