雙工件臺系統的運動和測量系統解耦算法研究.pdf

1、光刻機作為大規(guī)模集成電路制造的重要生產工具,日益成為衡量一個國家高新技術發(fā)展的重要指標。而作為光刻機重要部件之一的工件臺和掩模臺系統,其發(fā)展與研發(fā)則成為光刻機生產的核心?？梢哉f,工件臺和掩模臺的技術水平直接影響著光刻機設備產能。
　　工件臺與掩模臺的高速度和高精度要求成為控制的難點。對于工件臺和掩模臺的微動臺來說,他們各由六個音圈電機控制。六個電機相互配合實現六個自由度運動。為了實現工件臺和掩模臺六個自由度的高精度控制,需要對六個

2、電機進行精確解耦,并對安裝誤差進行分析。
　　本文首先對工件臺和掩模臺工作原理進行了簡單介紹。然后對工件臺和掩模臺的微動臺進行建模。通過對微動臺臺體上六個電機施力和對臺體產生力矩的分析,解算出微動臺六個自由度對應的合力和合力矩與六個音圈電機的關系。為了實現對臺體六個自由度精確控制,利用數學軟件對轉換矩陣進行求逆處理。編寫了VC++可視化程序,方便求解在誤差影響下,電機施力變化。
　　電機安裝及臺體加工時易產生誤差,而誤差會引