光刻機(jī)雙工件臺系統(tǒng)的可靠性分配和預(yù)計(jì).pdf

1、光刻機(jī)是大型集成電路裝備中的核心設(shè)備，能否獨(dú)立研制高端光刻機(jī)直接體現(xiàn)了一個(gè)國家的制造技術(shù)水平及能力。雙工件臺系統(tǒng)是光刻機(jī)的關(guān)鍵子系統(tǒng)，其可靠性高低直接決定著光刻機(jī)的可靠性水平。事實(shí)表明，缺乏性能可靠的精密工件臺已成為限制我國光刻機(jī)研制水平發(fā)展的重要因素。如此看來，提高國產(chǎn)精密工件臺的可靠性水平已是迫在眉睫，針對這一現(xiàn)狀，本文重點(diǎn)研究了雙工件臺系統(tǒng)的可靠性分配和預(yù)計(jì)技術(shù)，主要開展了以下幾個(gè)方面的研究工作：
　?。?）結(jié)合可靠性工作的

2、特點(diǎn)對雙工件臺系統(tǒng)進(jìn)行層次劃分，明確其各部分組成及功能，為可靠性分配與預(yù)計(jì)工作的進(jìn)一步展開打下基礎(chǔ)。
　?。?）分析雙工件臺系統(tǒng)可靠性分配過程中存在的問題，結(jié)合其自身特點(diǎn)，建立可靠性分配流程；對比工程中常用的可靠性分配方法，說明各方法的優(yōu)劣性；針對雙工件臺系統(tǒng)分配過程中因缺乏相關(guān)可靠性數(shù)據(jù)而導(dǎo)致主觀不確定性過強(qiáng)的缺點(diǎn)，提出一種綜合考慮多種權(quán)重的可靠性分配方法對其進(jìn)行可靠性分配，該方法在層次分析法的基礎(chǔ)上，引入三角模糊數(shù)描述專家評判