雙工件臺軟件設計及晶圓傳輸系統(tǒng)的應用.pdf

1、雙工件臺是光刻機運動控制系統(tǒng)的核心部件，雙工件臺的運動由多個電機共同驅(qū)動。由于雙工件臺是高速運行的平臺，這樣使得雙工件臺伺服控制系統(tǒng)對實時性要求極高。晶圓傳輸升降機構在雙工件臺中負責晶圓的上下片，其動態(tài)性能和穩(wěn)態(tài)誤差影響光刻機的產(chǎn)率和晶圓硅片質(zhì)量。本文主要針對雙工件臺嵌入式上下位機進行設計，并對晶圓傳輸升降機構進行了運動控制研究。
　　首先，針對雙工件臺的功能需求，確定異構平臺的上下位機系統(tǒng)的軟件總體架構。對下位機Vxworks嵌

2、入式系統(tǒng)結構進行詳細介紹，并設計了嵌入式主控CPU板與多塊運動控制卡間的通信機制；接下來對下位機Vxworks嵌入式系統(tǒng)進行任務規(guī)劃，包括Vxworks嵌入式系統(tǒng)任務間同步與通信，任務間調(diào)度等任務，最后具體實現(xiàn)下位機嵌入式的多任務實時系統(tǒng)。
　　其次，基于MFC開發(fā)了上位機界面，對異構平臺的大小端模式進行研究，解決了上下位機的數(shù)據(jù)傳輸問題，最后基于功能需要詳細介紹了上位機程序設計，并通過實驗，驗證了上位機的正確性。
　　再次