平板顯示器表面缺陷自動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)中的自動(dòng)聚焦與缺陷分類的研究與實(shí)現(xiàn).pdf

1、平板顯示器(FPD(Flat Panel Display))由于具有高分辨率、高亮度、功耗低、體積小和重量輕等優(yōu)點(diǎn),廣泛應(yīng)用于顯示器領(lǐng)域。在FPD顯示器的生產(chǎn)過(guò)程中,為了保證顯示質(zhì)量和提高平板顯示器產(chǎn)量,顯示器的缺陷檢測(cè)是必不可少的。為了降低成本提高生產(chǎn)效率,平板顯示器的制造過(guò)程迫切需要一個(gè)全自動(dòng)缺陷檢測(cè)系統(tǒng)。FPD模組制造過(guò)程的面板點(diǎn)燈檢測(cè)除基礎(chǔ)的光電響應(yīng)量測(cè)外,還包括壽命及畫質(zhì)缺陷檢測(cè),如點(diǎn)、線、mura、異物等缺陷。然而由于目前檢

2、測(cè)系統(tǒng)中的工業(yè)相機(jī)一般不具有自動(dòng)調(diào)焦功能,且檢測(cè)mura缺陷效果較好的周期算法需要使相機(jī)鏡頭調(diào)節(jié)到所拍攝的FPD圖像具有指定的紋理周期。由于FPD制造過(guò)程極其復(fù)雜,需近百道工序,因此在生產(chǎn)制造過(guò)程中難免會(huì)出現(xiàn)缺陷,各生產(chǎn)廠商也要求能快速對(duì)這些缺陷進(jìn)行分類、分等。
　　 本研究針對(duì)以上問(wèn)題主要做了以下工作：⑴分別測(cè)試了空域、頻域圖像清晰度算法,并設(shè)計(jì)了聚焦流程以實(shí)現(xiàn)FPD成像系統(tǒng)的自動(dòng)對(duì)焦。⑵利用傅里葉變換求出FPD圖像的紋理周期