光干涉測(cè)試中的抗振技術(shù)研究.pdf

1、該文分析了干涉測(cè)量技術(shù)中存在的主要誤差來(lái)源,通過(guò)對(duì)通常環(huán)境下振源特性的分析,得到了對(duì)干涉測(cè)試影響較大的振源的頻率范圍主要在30Hz以下,確定了抗振補(bǔ)償?shù)哪繕?biāo)和技術(shù)指標(biāo)是使干涉儀的振動(dòng)頻率＜50Hz,振幅～1μm.創(chuàng)新性地提出了一種新的自適應(yīng)抗振技術(shù)--條紋細(xì)分測(cè)振技術(shù),可以探測(cè)到很小（該文中為1/400個(gè)條紋間距）的條紋移動(dòng)量.建立了位相調(diào)制條紋細(xì)分技術(shù)的數(shù)學(xué)物理模型,提出了用硬件實(shí)現(xiàn)條紋移動(dòng)探測(cè)技術(shù)途徑.建立了一套閉環(huán)的自適應(yīng)抗振干涉

2、測(cè)試硬件系統(tǒng),成功實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)地探測(cè)干涉條紋移動(dòng)量和移動(dòng)方向.提出了填充脈沖數(shù)預(yù)設(shè)定的方法,可以將干涉條紋鎖定在任意設(shè)定的位相位置,實(shí)現(xiàn)了用PZT同時(shí)實(shí)現(xiàn)振動(dòng)補(bǔ)償和移相測(cè)量;深入分析討論了PZT的延遲問(wèn)題,創(chuàng)造性地提出了用多次逼近補(bǔ)償?shù)霓k法,給出了反饋補(bǔ)償?shù)乃惴?解決了補(bǔ)償過(guò)程中存在的系統(tǒng)不穩(wěn)定和過(guò)補(bǔ)償?shù)膯?wèn)題.詳細(xì)分析了影響抗振效果的主要因素,定量地給出了其對(duì)結(jié)果的影響的大小.在實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)中,設(shè)計(jì)并實(shí)現(xiàn)了帶耦合系統(tǒng)的單模光纖導(dǎo)光系統(tǒng),使光源