移相干涉儀自適應(yīng)抗振技術(shù)研究.pdf

1、移相干涉術(shù)(PSI)是一種高精度、高靈敏度、非接觸式光學(xué)測(cè)試方法,易受環(huán)境振動(dòng)的影響,環(huán)境振動(dòng)是移相干涉儀測(cè)量誤差的主要來(lái)源之一.論文介紹了移相干涉儀抗振技術(shù)的研究進(jìn)展及存在問(wèn)題;提出運(yùn)用聲光調(diào)制器作為光學(xué)移頻器在移相干涉儀中嵌入外差測(cè)振系統(tǒng),由兩只高速光電雪崩管(APD)進(jìn)行外差探測(cè),采用新型單片RF/IF集成芯片對(duì)兩路40MHz的高頻模擬外差信號(hào)直接進(jìn)行比相,實(shí)現(xiàn)了干涉儀所受環(huán)境振動(dòng)的測(cè)量;在獲得振動(dòng)信息的同時(shí),根據(jù)波前相位偏離預(yù)設(shè)

2、值的大小,采用自適應(yīng)處理的方法對(duì)振動(dòng)信息進(jìn)行實(shí)時(shí)分析和預(yù)測(cè),得到振動(dòng)反饋補(bǔ)償信號(hào)并輸出至PZT移相器,將波前相位鎖定在預(yù)設(shè)值上,得到了穩(wěn)定的條紋干涉圖,實(shí)現(xiàn)了干涉儀的自適應(yīng)抗振;運(yùn)用DSP技術(shù)實(shí)現(xiàn)了自適應(yīng)LMS算法,并創(chuàng)新地提出象限區(qū)分反饋法對(duì)LMS算法進(jìn)行象限符號(hào)修正,在抗振的同時(shí)改變波前相位預(yù)設(shè)值實(shí)現(xiàn)了干涉儀的移相測(cè)量功能.成功研制了用于自適應(yīng)抗振的高頻響預(yù)壓式PZT移相器,并對(duì)其性能進(jìn)行了分析和測(cè)試,首次對(duì)PZT移相器動(dòng)作過(guò)程中出