版權(quán)說(shuō)明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡(jiǎn)介
1、FBAR(film bulk acoustic resonator)濾波器具有小型化、高Q值、高工作頻率、較大的功率容量和可集成性等優(yōu)點(diǎn),它是替代SAW(surface acoustic wave)濾波器的下一代濾波器,也是被業(yè)界認(rèn)為最有可能實(shí)現(xiàn)射頻模塊全集成化的濾波器。
基于FBAR諧振單元的基本原理,本文研究了不同機(jī)電耦合系數(shù)下AlN-FBAR單元的阻抗特性,仿真了電極厚度修正對(duì)器件工作頻率的影響;建立了Au-AlN-Mo
2、結(jié)構(gòu)FBAR單元的Mason模型,并根據(jù)建立的模型和最簡(jiǎn)單的階梯型濾波器結(jié)構(gòu),研究了串并聯(lián)單元的面積比以及濾波器級(jí)聯(lián)節(jié)數(shù)對(duì)濾波器性能的影響,得到了具有較好傳輸性能的5節(jié)級(jí)聯(lián)濾波器結(jié)構(gòu),在此基礎(chǔ)上研究了引入介質(zhì)損耗后5節(jié)級(jí)聯(lián)濾波器的傳輸特性,優(yōu)化后FBAR濾波器仍具有優(yōu)異性能;針對(duì)FBAR濾波器,研究了機(jī)電耦合系數(shù)變化對(duì)濾波器傳輸特性的影響,估算出了機(jī)電耦合系數(shù)可允許的變化范圍,為研制高取向度的氮化鋁壓電薄膜提供了理論指導(dǎo)。
根
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 薄膜體聲波濾波器(FBAR)的研究與建模.pdf
- SMR-FBAR壓電堆用Mo及AlN薄膜材料的研究.pdf
- AlN薄膜腔聲諧振濾波器的設(shè)計(jì)與制備.pdf
- 基于氮化鋁(AlN)薄膜的薄膜體聲波諧振器(FBAR)研究.pdf
- 用于FBAR技術(shù)的AlN薄膜的研究.pdf
- 溫度補(bǔ)償?shù)膲弘姳∧んw聲波濾波器
- FBAR用AlN薄膜的MOCVD制備.pdf
- 溫度補(bǔ)償?shù)膲弘姳∧んw聲波濾波器.pdf
- 空腔型L波段FBAR濾波器設(shè)計(jì).pdf
- 磁控濺射制備壓電氮化鋁薄膜及聲表面波濾波器研究.pdf
- AlN壓電薄膜復(fù)合結(jié)構(gòu)研究.pdf
- 高溫超導(dǎo)濾波器的仿真制作及分形結(jié)構(gòu)濾波器的研究.pdf
- GHz磁集成薄膜及濾波器的研究.pdf
- 基于振動(dòng)濾波器的壓電泵研究.pdf
- 微波混合濾波器及有耗濾波器研究.pdf
- 對(duì)數(shù)濾波器的仿真與研究.pdf
- 缺陷地面結(jié)構(gòu)濾波器和薄膜聲體波諧振器濾波器研究.pdf
- 基于壓電聚合物薄膜的可調(diào)諧Fabry-Perot濾波器.pdf
- 有源電力濾波器控制方法及仿真研究.pdf
- 基于AlN壓電薄膜的HBAR器件制備研究.pdf
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論