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文檔簡介
1、在無線電通訊技術(shù)高速發(fā)展的今天，可以實現(xiàn)多頻段，多制式的通訊技術(shù)需求，并且集成度更高，更加小巧，便于個人通訊終端使用的FBAR（Thin Film Bulk Acoustic Wave Resonator）解決方案逐漸成為了行業(yè)關(guān)注的熱點。而在國內(nèi)FBAR的研究仍處于起步階段，濾波器的設(shè)計能力較為薄弱，基于MEMS的FBAR制備工藝仍然不夠完善，基于這種情況，本文對FBAR濾波器的設(shè)計和工藝制備做了相應(yīng)的研究。
本文首先簡介了
2、FBAR的發(fā)展環(huán)境和現(xiàn)狀，分析了FBAR所具有的項目優(yōu)勢。然后在仿真設(shè)計中，推導(dǎo)得出FBAR電學(xué)阻抗公式，并在此基礎(chǔ)上建立一維物理模型詳細(xì)分析了單個諧振器材料，膜層厚度，面積等物理參數(shù)對器件性能的影響，得出了適合構(gòu)筑濾波器的諧振單元大體參數(shù)。進(jìn)一步，通過級聯(lián)諧振單元的方法，按照濾波器設(shè)計的一般思路，設(shè)計了帶寬1.48GHz～1.53GHz，相對帶寬0.13％，帶內(nèi)插損小于1dB，帶外抑制小于-57dB的RF濾波器，分析了設(shè)計過程中面臨的
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