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文檔簡介
1、長春理工大學(xué)碩士學(xué)位論文VCSEL刻蝕工藝研究姓名:左亮申請學(xué)位級別:碩士專業(yè):凝聚態(tài)物理指導(dǎo)教師:王曉華20100301ABSTRACTVerticalCavitySurface—EmittingLasers(VCSEL)haveadvantagesofsmalldivergenceangle、shortresonatorandlowthresholdcurrentetal,Sothattheopticalinformation、op
2、ticalinterconnects、andopticalfibercouplerhasawideapplicationprospectTheintroductionofoxidesofrestrictiontechnologiestofurtherreducethedevicethresholdcurrentandimprovetheelectroopticalconversionefficiencyisthecurrentVCSEL
3、optoelectronicdevicetolimittheproductiontoachievethemaintechnicalmeansusedDuringpreoxidationprocess,UseetchingtechniquetoproduceoxidewindowtobeexposedoxidelayerDryetchingistheVCSELproductionofthemorewidelyusedtechnologyb
4、utitshighcostandtechnologicalcomplexityoffeaturesWeselectionthewetetchingtechnologyhasproducedawindowbecauseitislowcost、simpleandeasytooperate,andresearchtheproblemoftheoxidewindowFirststudiedtheetchingsolutionforheterog
5、eneousmaterials,GaAs/A1GaAsselectivecorrosioncharacteristics,isparticularlyconcernedaboutthehi曲AIoxidelayeroccurringatthecomponenttobeaseriousinternalcorrosion(call“coattail”)Thereforaccordingtoalargenumberofexperimental
6、results,comparedandanalyzedthecorrosionmorphologyandtheorderlinessunderthesameconditionsofcorrosivesolutionH2S04/H202/H20,H3P04/H202/H20andH3P04/H202Studieshaveshownthat,H2S04/H202/H20solutionselectivecorrosionofmatefial
7、sevidentinthematerialexistenceoftheheterogeneityoftheinterfacestep,highA1compositiontobeoccurringattheinneroxidelayerisalsomoreseverecorrosion,andtheetchingratefasterisnotconducivetoprecisecontrolofetchingdepthTheetching
8、solutionH3P04/I1202didnothavea”coattail”structure,butthesidewallslopeistoolarge(about450),andtherateistooslowforprocessrequirementsaremoredemandingFocusesonthe980nm/808nmVCSELwaferwetetchingtechniquesUnderthesameconditio
9、nsweselecttheH3P04fH202/H20,BecauseitsetchingmorphologyandratesbetweenH2SO棚202/H20andH3P04/H202solutionByoptimizingtheetchingsolutionoftheratio,enhancementofheterogeneousmaterialsnon—selectivecorrosion,boththebasicelimin
10、ationofthe”coattail”structure,butalsotakeintoaccountthesteepnessofthesidewallandtheetchingprecisionforthewetetchingⅢ一VethnicheterogeneityofmaterialsprovidesameaningfulreferenceKeywords:VCSEL;Oxideconfmementstructure;Wete
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