中紅外銻化物激光器工藝中刻蝕研究.pdf_第1頁
已閱讀1頁,還剩53頁未讀 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進行舉報或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡介

1、本論文在簡要的介紹了銻化物半導(dǎo)體激光器的發(fā)展現(xiàn)狀后,分析并討論了目前銻化物激光器的工藝制造中存在的問題。
  首先,文章中針對四元系的化合物AlGaAsSb、InGaAsSb的晶格常數(shù)進行了計算與分析,并分別討論了其晶格常數(shù)隨著Al、In組分多少的變化關(guān)系,給出了兩種化合物的禁帶寬度折射率等參數(shù),并對于波導(dǎo)層的厚度對激光器性能的影響進行了討論,我們發(fā)現(xiàn)0.3μm-0.5μm的波導(dǎo)層厚度是最佳選擇,并依據(jù)以上的理論基礎(chǔ)設(shè)計了2μmA

2、lGaAsSb/InGaAsSb量子阱激光器的結(jié)構(gòu)。
  其次,文章對于刻蝕工藝中的干法以及濕法刻蝕進行了簡要的介紹,并且采用氫氟酸系及磷酸系腐蝕液對于GaSb基材料進行了濕法刻蝕的實驗探究并在兩種酸系溶液中加入分別加入酒石酸進行對比試驗。
  實驗結(jié)果表明,氫氟酸系及磷酸系這兩種腐蝕液對GaSb材料都有較好的刻蝕效果,腐蝕速率平穩(wěn),適當(dāng)調(diào)整腐蝕液組分可以調(diào)控腐蝕速率,刻蝕后形貌良好,材料表面平整光滑。在兩種酸系溶液中加入并

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論