基于亞微米工具電極的微細(xì)電解加工試驗(yàn)研究.pdf

1、隨著人類科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步，微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)在社會(huì)生產(chǎn)和生活中的應(yīng)用變得越來越廣泛。微細(xì)制造技術(shù)是MEMS及微型零件制造的關(guān)鍵加工技術(shù)，是現(xiàn)今制造技術(shù)研究最為活躍的領(lǐng)域之一。微細(xì)電解加工作為一種重要的微細(xì)加工技術(shù)，以“離子”形式去除金屬材料；其加工過程無切削力、無再鑄層、不受材料硬度強(qiáng)度影響，在MEMS領(lǐng)域有著巨大的應(yīng)用潛力。
　　本文主要完成了以下內(nèi)容：
　　(1)在線制備亞微米工具電極。研究了液膜法和浸沒法電化學(xué)腐蝕制

2、備亞微米工具電極，成功制備出直徑在亞微米級(jí)的鎢電極。
　　(2)提出基于瞬態(tài)電流檢測(cè)的對(duì)刀方法。分析亞微米工具電極在微細(xì)電解加工中發(fā)生的彎曲變形和電火花放電現(xiàn)象，提出基于瞬態(tài)電流檢測(cè)的對(duì)刀方法，并研究對(duì)刀進(jìn)給速度對(duì)亞微米工具電極對(duì)刀精度的影響。
　　(3)研制了基于視覺和瞬態(tài)電流檢測(cè)的綜合對(duì)刀系統(tǒng)。該系統(tǒng)依靠視覺輔助，使工具電極向工件表面快速進(jìn)給，到達(dá)距工件表面約數(shù)十微米的位置；然后通過瞬態(tài)電流檢測(cè)，準(zhǔn)確判斷工具電極與工件短