變截面多線螺旋電極微細電解展成加工技術研究.pdf

1、在內壁具有粗糙肋的、連續(xù)或者非連續(xù)微結構的管件，傳熱效率有顯著地提高，降低能耗，有效地提高電子器件的散熱性能，延長其使用壽命，管內微結構對提高熱管總體傳熱性能有重要影響，相比于連續(xù)微結構，非連續(xù)微結構更有利于冷凝液表面張力發(fā)揮作用和液體的沸騰，促進冷凝膜內部的對流換熱、沸騰泡核的成倍增長和氣泡的大量發(fā)生和蒸發(fā)。非連續(xù)微結構內壁是在管件內表面上擁有非連續(xù)的微米級溝槽，沿著內壁形成大面積的規(guī)則圖案。但目前在小管徑的管內壁加工出非連續(xù)微結構是

2、該項技術的關鍵所在，電解加工技術作為一種高效、低成本的加工方式，以離子去除的方式進行陽極溶解，因此在微納加工領域有巨大的應用前景。
　　本文結合管內壁非連續(xù)微結構的加工工藝要求，制定了紫外光固化技術、微細電解加工技術相結合的工藝方法，圍繞著管內壁非連續(xù)微結構溝槽的電解深度和電解寬度兩個指標進行微細電解展成加工工藝的探索。
　　結合管內壁非連續(xù)微結構加工的工藝特點，設計了基于LabVIEW圖形化控制系統(tǒng)對管內壁進行微細電解展成

3、加工的試驗平臺。該試驗臺包括本體結構設計、控制系統(tǒng)設計和電解液循環(huán)系統(tǒng)設計三大部分，并采用高頻脈沖電流實現管內壁微結構的微細電解展成加工。選用變截面多線螺旋電極的制作方法，并對電極錐度的大小、加工電壓、NaNO3電解液濃度與電場分布的聯(lián)系進行仿真分析，設計掩膜層圖案，改進制作工藝，采用紫外光固化技術對含有錐度的陰極進行多頭螺旋線掩膜。
　　采用電解電源提供穩(wěn)定的脈沖電流，通過對人機界面進行精確控制加工。研究發(fā)現加工電壓、NaNO3