微細(xì)電解加工及與光纖激光掩膜復(fù)合加工技術(shù)研究.pdf

1、電解加工是以“離子”方式電化學(xué)反應(yīng)去除陽(yáng)極金屬材料，去除單位微小化，使微細(xì)電解加工成為微細(xì)加工領(lǐng)域研究的熱點(diǎn)技術(shù)之一。從加工機(jī)理上講，高頻窄脈沖電源在電化學(xué)中使用時(shí)，在加工間隙中會(huì)產(chǎn)生特殊的物理特性和化學(xué)特性，能夠使高頻窄脈沖電化學(xué)加工在復(fù)制精度、重復(fù)精度、表面質(zhì)量、加工效率、加工過(guò)程穩(wěn)定性等方面有很大的提高。研發(fā)一種新型脈沖微細(xì)電解加工電源，并使用低濃度鈍化電解液，合理調(diào)整脈間和脈寬大小，在超短脈沖加工時(shí)間內(nèi)由于產(chǎn)生的電解產(chǎn)物很少，以

2、使得在脈沖間歇時(shí)極間電解液極易得到更新和恢復(fù)，這樣使得電化學(xué)加工中的形狀精度、尺寸精度、表面質(zhì)量都有很大的提高。
　　本研究將微細(xì)電解加工與激光表面改性處理相結(jié)合，進(jìn)行微細(xì)電解與激光掩膜復(fù)合加工研究。利用光纖脈沖激光在304不銹鋼表面采用直寫(xiě)方式進(jìn)行表面改性處理，生成具有抗腐蝕性的保護(hù)圖案，再將激光表面改性技術(shù)與微細(xì)電解加工技術(shù)相結(jié)合，無(wú)須光刻掩膜，利用精密激光表面改性生成的具有耐腐蝕特性的表層圖案作為微細(xì)電解加工中的掩膜，通過(guò)微