基于工件施振的超聲ELID復合加工系統(tǒng)及加工質(zhì)量-效率研究.pdf

1、陶瓷材料具有高硬度，耐磨性好，耐高壓力，耐高溫，化學性能比較穩(wěn)定的特點。因此，陶瓷材料被廣泛應用到工業(yè)的各個領域，而陶瓷材料的鏡面高效加工技術是發(fā)展國防尖端技術的重要手段，對發(fā)展航空航天、國防軍工、信息、微電子與光電子等尖端科學技術具有重要的意義。
　　本文將超聲振動磨削的精密高效與ELID磨削的超精密技術相復合，擬研究使其成為一種高效鏡面加工的必要條件及可能性。論文通過ANSYS仿真分析研究了變幅桿節(jié)點位置的選取方法，建立了聲學

2、系統(tǒng)穩(wěn)定性阻抗匹配方程。通過對超聲ELID復合磨削機理的研究，建立了超聲ELID復合磨削之磨削力模型，基于壓痕斷裂力學，建立了材料的去除率模型。試驗表明超聲ELID復合磨削提高了材料去除率，超聲ELID復合磨削條件下磨削力隨磨削深度的增加而增加，且超聲下磨削的磨削力并非總是小于ELID磨削時的磨削力。通過試驗驗證了超聲施加到工件上，工件振動時對砂輪表面產(chǎn)生的氧化膜的影響并不顯著，即超聲對氧化膜的生成影響不大。本文研究了不同磨削參數(shù)和電參