ELID磨削模糊控制加工系統(tǒng)的關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf

1、隨著電子、光學(xué)等行業(yè)的快速發(fā)展，對于單晶硅、硬質(zhì)合金等硬脆材料的加工表面質(zhì)量及加工效率提出了越來越高的要求。這些硬脆材料一般均由研、磨、拋加工完成，其中可實(shí)現(xiàn)高效率、超光滑表面加工的ELID超精密磨削方法受到了科研與企業(yè)界的廣泛重視。 ELID具有效率高，精度高，表面質(zhì)量好，加工裝置簡單及加工材料適應(yīng)性廣等優(yōu)點(diǎn)，尤其對于陶瓷、硬質(zhì)合金等硬脆材料的高效超精密加工具有獨(dú)特的優(yōu)越性。這種先進(jìn)的磨削加工技術(shù)將成為今后超精密磨削加工的主要

2、發(fā)展方向與手段之一。 本文重點(diǎn)分析了ELID磨削過程中砂輪表面氧化膜的作用機(jī)理，經(jīng)分析得出：ELID磨削加工過程中的電壓電流值的大小可以表征氧化膜的狀態(tài)，并通過一系列的工藝實(shí)驗(yàn)研究了磨削電流值的大小與砂輪磨削效果之間的關(guān)系。在實(shí)現(xiàn)ELID磨削加工狀態(tài)準(zhǔn)確識別的基礎(chǔ)上，針對ELID磨削過程的非線性和時變性，通過MATLAB仿真制定模糊控制規(guī)則，并采用單片機(jī)控制技術(shù)開發(fā)出了基于模糊控制的ELID磨削智能加工系統(tǒng)。 本文將智能