基于光譜分辨的單幀式絕對程差測量.pdf_第1頁
已閱讀1頁，還剩68頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權，請進行舉報或認領

文檔簡介

1、傳統(tǒng)的單色激光干涉儀雖然具有很高的測量精度，但在移相過程中易受外界振動的影響，且具有相位不確定性，這兩個問題限制了它在在線測量中的廣泛應用。白光光譜分辨式干涉測量是一種通過分析寬帶干涉光的光譜信息來獲取被測面形的干涉技術，由于只需要一幀干涉圖，因此它對外界振動具有不敏感性，且能克服相位不確定性的影響，能夠測量臺階面。本文在已有的一維白光光譜干涉儀的基礎上，通過使用FP標準將連續(xù)的白光光譜濾成具有一定間隔的梳狀光譜，從而在CCD上將相鄰光

2、譜的干涉圖分開一定的距離，這樣就避免了被測面各個位置光譜信息的互相交疊，能夠進行二維面形的測量。
　　 本文對單幀式干涉測量方法進行了理論建模，對各個模塊的要求進行了仿真分析；搭建了一維單幀式測量實驗系統(tǒng)，對一個刻蝕有臺階面的硅片進行了測量，獲得被測面的面形；利用四步空間移相法解出了單波長下相位分布，并利用此分布對測量結果進行了精度提升；然后在此基礎上進行了二維單幀式測量實驗，并獲得了一個狹窄的二維臺階面的面形，測量結果具有較高

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權或不適當內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論