接觸式表面輪廓測(cè)量系統(tǒng)中的微恒力技術(shù).pdf

1、表面輪廓測(cè)量?jī)x是進(jìn)行工件表面特征測(cè)量的主要儀器之一，隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，對(duì)工件表面質(zhì)量的要求不斷提高，對(duì)表面輪廓測(cè)量?jī)x的精度要求也逐漸提高。接觸式表面輪廓測(cè)量?jī)x是表面輪廓測(cè)量?jī)x中運(yùn)用較廣泛的一種，接觸式測(cè)量的觸針在測(cè)量中具有極其重要的作用，觸針與被測(cè)表面之間的接觸力對(duì)于儀器的測(cè)量精度、量程、使用壽命以及儀器的使用范圍都有著重要的影響，接觸力的控制越來(lái)越受到人們的重視。
　　 本文首先介紹了表面輪廓儀的特點(diǎn)，發(fā)現(xiàn)國(guó)內(nèi)目前的接觸式表

2、面輪廓測(cè)量?jī)x中存在的探頭與工件之間的接觸力難以控制的技術(shù)問(wèn)題，并以電磁學(xué)中的磁力學(xué)為基礎(chǔ)提出微恒磁力技術(shù)，這種解決方案可以很好的解決側(cè)頭接觸力難以控制的問(wèn)題。然后對(duì)微恒力技術(shù)中磁恒力技術(shù)進(jìn)行了可行性的分析，對(duì)不同特性的磁鐵進(jìn)行了選擇，對(duì)磁路形式的確定以及對(duì)磁路整體進(jìn)行了討論與設(shè)計(jì)，并運(yùn)用電磁學(xué)有限元軟件Maxwell對(duì)磁路進(jìn)行了設(shè)計(jì)與仿真分析，計(jì)算出不同磁路下穩(wěn)恒磁場(chǎng)的范圍以及此時(shí)驅(qū)動(dòng)線圈所受的力矩以及磁場(chǎng)力，并選擇出合適的磁路。再通過(guò)