集成電路精密引線模具微細(xì)超聲加工設(shè)備開(kāi)發(fā)及實(shí)驗(yàn)研究.pdf

1、集成電路是電子信息產(chǎn)業(yè)的心臟，集成電路每1元的產(chǎn)值，可以帶動(dòng)GDP100元的產(chǎn)值，對(duì)國(guó)民經(jīng)濟(jì)的發(fā)展具有很高的貢獻(xiàn)率。集成電路的發(fā)展離不開(kāi)高質(zhì)量的鍵合金絲，從而對(duì)有硬脆性材料制成的集成電路精密引線模具提出了越來(lái)越高的要求。超聲加工技術(shù)是加工硬脆性材料的主要方法，在上述模具的制造過(guò)程中扮演著重要的角色。但集成電路精密引線模具孔徑微小，目前尚沒(méi)有成熟的具有在線監(jiān)控功能的臥式超聲加工設(shè)備。
　　本文從這一角度出發(fā)，研發(fā)了集成電路精密引線模

2、具臥式超聲加工機(jī)床，主要工作內(nèi)容為:1.選擇介電損耗正切值盡可能小，材料的機(jī)械品質(zhì)因數(shù)大的壓電陶瓷元件，結(jié)合聲學(xué)、電學(xué)、機(jī)械學(xué)設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)合理，設(shè)計(jì)制造出專用的、高共振頻率的、工作可靠的壓電換能器。2.選取階梯型變幅桿應(yīng)用理論解析法進(jìn)行分析，得出了變截面桿的振動(dòng)方程。運(yùn)用ANSYS軟件對(duì)階梯型變幅桿進(jìn)行了模態(tài)分析和諧響應(yīng)分析，針對(duì)諧響應(yīng)分析中所存在的應(yīng)力集中現(xiàn)象進(jìn)行了結(jié)構(gòu)優(yōu)化和驗(yàn)證。3.在超聲換能器、變幅桿研究的基礎(chǔ)上，對(duì)專用的超聲加工機(jī)床