PECVD設(shè)備研發(fā)項(xiàng)目計(jì)劃與控制研究.pdf

1、PECVD設(shè)備研發(fā)項(xiàng)目計(jì)劃與控制研究的目的是為了解決PECVD設(shè)備研發(fā)中經(jīng)常遇到的工期延遲，費(fèi)用大大超額，甚至導(dǎo)致最終項(xiàng)目終止等一系列不可預(yù)知的情況。現(xiàn)在中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)經(jīng)驗(yàn)缺乏，加上技術(shù)不過(guò)關(guān)，沒(méi)有明確的計(jì)劃與有效的控制，常常不能達(dá)到理想的效果，導(dǎo)致企業(yè)因?yàn)閾?dān)心沒(méi)有利潤(rùn)很少愿意做研發(fā)。本文為了解決這一問(wèn)題，通過(guò)項(xiàng)目計(jì)劃與控制理論知識(shí)對(duì)PECVD設(shè)備研發(fā)進(jìn)行了詳細(xì)計(jì)劃并從進(jìn)度、費(fèi)用和質(zhì)量上進(jìn)行嚴(yán)格控制，以期項(xiàng)目能夠理想順利完成。

2、r>　　本文從明確PECVD設(shè)備研發(fā)項(xiàng)目的特點(diǎn)開(kāi)始，明確并細(xì)化項(xiàng)目目標(biāo)，在進(jìn)行項(xiàng)目計(jì)劃與控制研究中，運(yùn)用定性分析法和定量分析法系統(tǒng)地對(duì)項(xiàng)目整體進(jìn)行計(jì)劃與控制加以研究。本文通過(guò)甘特圖和工作分解結(jié)構(gòu)WBS等工具對(duì)PECVD設(shè)備研發(fā)進(jìn)行工作分解、實(shí)施責(zé)權(quán)分配、最終確定進(jìn)度安排，并用評(píng)審計(jì)劃技術(shù)方法PERT對(duì)計(jì)劃結(jié)果進(jìn)行優(yōu)化。對(duì)項(xiàng)目的控制方面，著重對(duì)進(jìn)度、質(zhì)量和成本進(jìn)行了研究，賦予每項(xiàng)工作權(quán)重對(duì)項(xiàng)目進(jìn)展進(jìn)行分析，通過(guò)偏差分析表來(lái)進(jìn)行進(jìn)度控制，確