2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
已閱讀1頁,還剩70頁未讀, 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進(jìn)行舉報或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡介

1、橫向功率MOSFET存在比導(dǎo)通電阻與擊穿電壓的折中關(guān)系,常見的改善方法有RESURF(Reduced surface field)技術(shù)和超結(jié)(Super Junction,SJ)技術(shù),這兩種技術(shù)皆通過增強耗盡來提高漂移區(qū)摻雜濃度。本文提出新的電流輸運模式,構(gòu)建多數(shù)載流子積累層,由積累層形成的低阻通道和中性漂移區(qū)共同傳輸電流,顯著降低器件的導(dǎo)通電阻,打破了橫向MOSFET的“硅極限”。本文提出兩類新型的具有連續(xù)低阻通道的橫向超結(jié)LDMOS

2、。
 ?。?)具有槽型增強積累延伸柵(Enhanced-accumulation trench-type extending gate,TEG)的超結(jié)LDMOS(TEG SJ LDMOS),該結(jié)構(gòu)的特征在于嵌入漂移區(qū)中的槽型增強積累延伸柵,TEG由高k介質(zhì)及P柱區(qū)構(gòu)成。槽型增強積累延伸柵有兩個作用:一是正向?qū)〞r,在高k介質(zhì)與N柱區(qū)界面形成多數(shù)載流子積累層,且高k介質(zhì)增強電荷積累作用,多數(shù)載流子積累層聯(lián)合溝道構(gòu)成從源至漏的連續(xù)低阻

3、通道,有效降低比導(dǎo)通電阻;二是高k介質(zhì)輔助耗盡漂移區(qū),調(diào)制器件體內(nèi)電場。仿真表明,TEG SJ LDMOS耐壓為197V,比導(dǎo)通電阻為1.09 mΩ·cm2。
  針對襯底輔助耗盡效應(yīng),提出兩種柱區(qū)階梯摻雜的TEG SJ LDMOS。一是N柱區(qū)階梯摻雜TEG SJ LDMOS,階梯摻雜的N柱區(qū)有效抑制襯底輔助耗盡效應(yīng)且調(diào)制器件表面電場,耐壓從197V提升至217V。二是P柱區(qū)階梯摻雜TEG SJ LDMOS,P柱區(qū)在漏端采用輕摻雜

4、P1區(qū),P1區(qū)減少了襯底輔助耗盡引起的P型雜質(zhì)過剩,保持超結(jié)區(qū)的電荷平衡,器件獲得耐壓218V。
 ?。?)具有輔助積累延伸柵(Assisted-accumulation extending gate,AEG)的SJ LDMOS。這類器件的主要特征是位于器件表面的輔助積累延伸柵,開態(tài)時,N柱區(qū)表面形成電子積累層,P柱區(qū)表面形成電子反型層,積累層與反型層聯(lián)合溝道構(gòu)成從源至漏的連續(xù)低阻通道,低阻通道顯著降低器件比導(dǎo)通電阻。
  

5、為改善SJ LDMOS的耐壓,提出具有階梯摻雜N型緩沖層的AEG SJ LDMOS(AEG-SNB SJ LDMOS)及具有P型埋層的AEG SJ LDMOS(AEG-PB SJ LDMOS)。階梯摻雜N-buffer在源端和漏端提供非均勻的電荷補償,有效抑制襯底輔助耗盡效應(yīng)。通過仿真,AEG-SNB SJ LDMOS得到235V的耐壓及2.92 mΩ·cm2的比導(dǎo)通電阻。P型埋層減少源端過剩的補償電荷,并調(diào)制器件表面電場。仿真表明,A

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論