三維模擬測(cè)頭數(shù)據(jù)通道設(shè)計(jì).pdf

1、現(xiàn)代制造技術(shù)對(duì)加工要求日益提高的同時(shí)，也給測(cè)量技術(shù)提出了新的要求。隨之產(chǎn)生的CNC齒輪測(cè)量中心是一種高精度、高效率的坐標(biāo)測(cè)量?jī)x。國(guó)外生產(chǎn)的CNC齒輪測(cè)量中心產(chǎn)品比較成熟，精度高、性能穩(wěn)定，能實(shí)現(xiàn)多維測(cè)量，但價(jià)格昂貴。國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的CNC齒輪測(cè)量中心存在測(cè)量電路工作可靠性不高、高精度量程范圍小、多數(shù)只能進(jìn)行一維測(cè)量等問題，與國(guó)外先進(jìn)水平存在一定的差距。 本文為該院新研制的CNC齒輪測(cè)量中心三維測(cè)頭進(jìn)行了數(shù)據(jù)通道(包括傳感器和測(cè)量電路)

2、的設(shè)計(jì)。為了改善上面提到的測(cè)量電路缺陷，文中對(duì)電感式傳感器進(jìn)行了性能分析，對(duì)測(cè)量電路的放大電路、A/D轉(zhuǎn)換電路、移相電路、濾波電路、相敏檢波電路、CAMAC接口電路等進(jìn)行了多方面分析對(duì)比，進(jìn)行了針對(duì)性設(shè)計(jì)。在電路的制作與調(diào)試方面，從電路的合理布局與布線、電子元器件的選擇與安裝、電路的實(shí)驗(yàn)調(diào)試等方面做了大量的工作，使包括傳感器在內(nèi)的整個(gè)數(shù)據(jù)通道的工作可靠性、測(cè)量精度得到進(jìn)一步的提高。 文中通過(guò)一系列的靜態(tài)測(cè)試實(shí)驗(yàn)，對(duì)整個(gè)系統(tǒng)(包括

3、傳感器和整體電路)的性能進(jìn)行了檢驗(yàn)和評(píng)定。通過(guò)相應(yīng)的實(shí)驗(yàn)測(cè)得系統(tǒng)線性度為0.9％，靈敏度為5mV/u m，分辨率優(yōu)于50nm，重復(fù)精度約為0.13％；利用虛擬儀器做了線性度對(duì)比及輸入信號(hào)頻譜分析實(shí)驗(yàn)，其中線性度對(duì)比實(shí)驗(yàn)的結(jié)果表明本系統(tǒng)具有較高的測(cè)量線性度；輸入信號(hào)頻譜分析實(shí)驗(yàn)確定了輸入模擬信號(hào)的主要干擾信號(hào)的頻率范圍，為進(jìn)一步改善電路性能指明了方向。本文通過(guò)對(duì)CNC齒輪測(cè)量中心三維測(cè)頭數(shù)據(jù)通道的多項(xiàng)改進(jìn)，為其成為一個(gè)通用化、儀器化、商品