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1、隨著中國半導(dǎo)體業(yè)的發(fā)展，200 mm 晶圓代工廠(Foundry)在中國紛紛出現(xiàn)，300mm的晶圓代工廠也在進(jìn)一步的發(fā)展之中。為了使相關(guān)人員對晶圓代工廠的廠務(wù)Slurry 化學(xué)研磨液供應(yīng)系統(tǒng)有所了解，特撰寫本文。 本文介紹了300 mm 晶圓代工廠廠務(wù)Slurry 供應(yīng)系統(tǒng)的定義和分類，基本構(gòu)成，安全設(shè)計和品質(zhì)監(jiān)控的要點，以及為了使整個供應(yīng)系統(tǒng)更加穩(wěn)定而對于時下流行系統(tǒng)所做的改善，力圖使讀者對廠務(wù)Slurry 供應(yīng)系統(tǒng)有一個整體
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