φ300mm硅片磨削測(cè)力儀研究.pdf

1、磨削力是表征磨削狀況的一個(gè)重要指標(biāo)，磨削力的大小不僅影響工件的磨削加工質(zhì)量和磨削加工精度，而且可以反映砂輪的磨損狀況。通過監(jiān)控磨削力的變化可以實(shí)時(shí)了解磨削狀態(tài)，而且測(cè)量磨削過程中的磨削力信息，可以及時(shí)控制磨削過程，優(yōu)化磨削用量，使磨削處于最佳狀態(tài)，提高磨削效率。
　　基于硅片超精密磨床的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，分析磨削測(cè)力儀的最優(yōu)安裝方案，確定了磨削測(cè)力儀采用集成于砂輪主軸的圓環(huán)式結(jié)構(gòu)?；跍y(cè)力儀的四個(gè)三向壓電傳感器兩種布置結(jié)構(gòu)，菱形結(jié)構(gòu)布置和

2、正方形結(jié)構(gòu)布置，從理論上分析推導(dǎo)了測(cè)力儀中傳感器的受力計(jì)算公式，并利用有限元軟件ANSYS模擬了傳感器的受力狀態(tài)。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，四個(gè)壓電傳感器采用正方形結(jié)構(gòu)布置更適合于磨削力的測(cè)量。根據(jù)磨削測(cè)力儀的性能要求，采用四個(gè)壓電傳感器的正方形結(jié)構(gòu)布置，研制了集成于磨床砂輪主軸的壓電式磨削測(cè)力儀。為了模擬磨削測(cè)力儀的實(shí)際安裝狀態(tài)，實(shí)現(xiàn)實(shí)驗(yàn)室條件下進(jìn)行實(shí)驗(yàn)標(biāo)定，研制了磨削測(cè)力儀標(biāo)定裝置。在實(shí)驗(yàn)室靜態(tài)標(biāo)定實(shí)驗(yàn)臺(tái)上，對(duì)研制的磨削測(cè)力儀進(jìn)行了靜態(tài)標(biāo)定，得