半導(dǎo)體晶圓制造中批加工設(shè)備調(diào)度研究.pdf

1、半導(dǎo)體晶圓制造中批加工設(shè)備具有多重入、高不確定性等復(fù)雜特性，屬于生產(chǎn)過(guò)程中瓶頸設(shè)備。研究對(duì)象包括從“單件加工設(shè)備”至“批加工設(shè)備”（δ→β）和從“批加工設(shè)備1”至“批加工設(shè)備2”（β1→β2）兩種基本類型。批加工設(shè)備的良好調(diào)度算法有助于提高半導(dǎo)體晶圓制造的整體生產(chǎn)效益。研究?jī)?nèi)容包括δ→β類型中批加工設(shè)備β的批排序調(diào)度；β1→β2類型中批加工設(shè)備β2的重組批和批排序調(diào)度；平行批加工設(shè)備的批派工調(diào)度。研究方法及研究成果如下：
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2、）“面向重入族”的δ→β類型中批加工設(shè)備β的批排序調(diào)度研究
　　利用批加工設(shè)備“重入”特性，提出“面向重入族”的δ→β類型中批加工設(shè)備β調(diào)度的研究方法，既克服“面向批次”方法的缺陷，又對(duì)不同重入族賦予不同權(quán)重，符合工程實(shí)際需求。針對(duì)復(fù)雜生產(chǎn)過(guò)程中許多不確定的因素，以及“按片投料，按周交貨”工程實(shí)際生產(chǎn)運(yùn)行方式，提出“時(shí)間窗交貨期下”的δ→β類型中批加工設(shè)備β的批排序調(diào)度研究方法，既克服“時(shí)間點(diǎn)交貨期下”的δ→β類型中批加工設(shè)備β的

3、批排序調(diào)度受“不確定的因素”影響，又符合工程實(shí)際情形。研究成果包括時(shí)間點(diǎn)交貨期下“面向重入族”的δ→β類型中批加工設(shè)備β的批排序混合整數(shù)線性規(guī)劃調(diào)度模型；不確定時(shí)間窗交貨期下δ→β類型中批加工設(shè)備β的批排序混合整數(shù)線性規(guī)劃調(diào)度模型等。
　?。?）在“一個(gè)聯(lián)合模型”中實(shí)現(xiàn)β1→β2類型中批加工設(shè)備β2的重組批和批排序調(diào)度研究
　　針對(duì)β1→β2類型中批加工設(shè)備β2調(diào)度中“重組批”的特殊要求，提出將批加工設(shè)備β2的“重組批”和“

4、批排序”融合在“一個(gè)聯(lián)合模型”中實(shí)現(xiàn)的研究方法。在滿足調(diào)度模型復(fù)雜度要求下，提高調(diào)度運(yùn)算執(zhí)行效率。研究成果包括β1→β2類型中批加工設(shè)備β2的重組批及批排序混合整數(shù)線性規(guī)劃調(diào)度模型等。
　?。?）“面向重入族”的平行批加工設(shè)備的批派工調(diào)度研究
　　針對(duì)中出現(xiàn)同時(shí)需要批派工及裝載的空閑可用批加工設(shè)備的數(shù)量大于或等于1的情形，以拉動(dòng)策略、推動(dòng)策略為驅(qū)動(dòng)，研究平行批加工設(shè)備的批派工調(diào)度算法。β1→β2類型中批加工設(shè)備β2調(diào)度具有重