2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁
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1、上海交通大學(xué)碩士學(xué)位論文CF在130nm產(chǎn)品中接觸孔通孔干法刻蝕工藝中的應(yīng)用姓名：邱鵬申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：軟件工程指導(dǎo)教師：程秀蘭陳曉軍200805083C4F6CHEMISTRYAPPLICATIONIN130NMCTVIADRYETCHABSTRACTAnadvancedDielectricetchprocesswindowwithC4F6basedchemistryhasbeendevelopedfthedevicetechn

2、ologyof0.13umbeyondusinganeMaxchamberutilizinganMERIEtechnology.HighernitridephotesistivitywideretchstopwindowhavebeenachievedthanC4F8.Byimprovementetchprocesswindowthenewetchprocessiscapableofetchingbothlowhighaspectrat

3、iostructureswithupto30:lnitrideivitygreaterthan87profilecanimproveCDetchprofile.thealreadyexistingC4F6gastubeineMAXweneednottochangegassystem.A0.13umprocesswithCTViaetchapplicationhasbeendevelopedusingineMAXdielectricetc

4、hchamber.UsingC4F6CTViaetchbasedexperimentdata.Thetradeoffbetweennitridecnerivityetchstopmarginwasobservedfmostparameters.WafertemperaturechamberpressureRFreactivegasflowarethemostdominanttuningknobsfnitridephotesistivit

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