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1、傳統(tǒng)的機(jī)械光開(kāi)關(guān)速度慢、體積大、不易大規(guī)模集成,難以適應(yīng)光傳送網(wǎng)的傳輸要求,這限制了其在未來(lái)光通信領(lǐng)域的應(yīng)用。新型的以微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)為基礎(chǔ)的微機(jī)械光開(kāi)關(guān)成為大容量交換光網(wǎng)絡(luò)開(kāi)關(guān)發(fā)展的主流方向。
本文介紹了關(guān)開(kāi)關(guān)的工作原理,分析了靜電驅(qū)動(dòng)扭臂式MEMS光開(kāi)關(guān)的運(yùn)動(dòng)過(guò)程,運(yùn)用拉格朗日運(yùn)動(dòng)方程建立了其數(shù)學(xué)模型,并運(yùn)用解析分析法和有限元分析法兩種分析方法對(duì)扭臂式光開(kāi)關(guān)進(jìn)行了模態(tài)分析,驗(yàn)證了數(shù)學(xué)模型的正確性。在此基礎(chǔ)上,
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