射頻-微波MEMS接觸式開關的研究.pdf

1、目前無線通信中的射頻／微波MEMS器件已成為國際上的研究熱點，MEMS開關作為射頻／微波通信中實現(xiàn)信號路由轉換的重要器件，成為了研究焦點。與傳統(tǒng)上的微波開關PIN管和GaAsFET相比，MEMS開關有尺寸小，插入損耗小，隔離度大，線性度好，工作頻段范圍大，直流功率小等優(yōu)點。本文討論的MEMS接觸式開關是利用表面微機械加工技術制備出來的一種可以應用在0—5GHz頻段的射頻／微波開關。本文在廣泛文獻調研的基礎上，分析了接觸式開關的工作原理，

2、并用ANSYS7.0和HFSS8.0軟件對器件進行了有限元動態(tài)加載模擬和微波參數(shù)的模擬，最終設計了以信號線中間斷開的CPW為傳輸線、以SiO_2為橋墩、以鋁硅合金和Au—Si_3N_4—Al復合材料為梁的空氣橋接觸式開關。并推導了這種兩端固定，兩個下電極結構的接觸式開關的下拉電壓的公式。以SiO_2為橋墩的空氣橋結構在國內未見報道。在多次改版、流片的基礎上，圍繞制備工藝中的一些關鍵技術，對器件版圖和工藝作了改進和完善，設計了滿足實驗室工