2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
已閱讀1頁,還剩68頁未讀, 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權,請進行舉報或認領

文檔簡介

1、電容式RF MEMS開關作為重要的MEMS器件之一,與傳統(tǒng)的開關器件相比具有很多優(yōu)點,目前越來越受到人們的關注。但是電容式RF MEMS開關普遍存在著驅動電壓高、固有頻率低的缺點。本文利用軟件IntelliSuite設計了三種懸臂梁結構的電容式RF MEMS開關,對影響開關驅動電壓和固有頻率的結構參數(shù)進行了研究和優(yōu)化,并通過測試開關的I-V和C-V特性,對開關的性能和失效進行了分析。
   本文設計了直拉形、斜拉形、彎曲形三種懸

2、臂梁結構的電容式RF MEMS開關,模擬仿真結果表明:影響直拉形開關驅動電壓主要結構參數(shù)是橋膜厚度以及橋與介質層之間的間距,橋膜厚度越小,間距越小,則驅動電壓越小,最低為5V;影響固有頻率的結構參數(shù)主要是橋膜厚度和長度,橋膜厚度越大,長度越大,則開關固有頻率越高,最高為6.0×105Hz。影響斜拉形開關驅動電壓和固有頻率的結構參數(shù)主要是斜拉長度和驅動電極面積;斜拉長度越大,驅動電極面積越大,則開關驅動電壓越小,最低為3V;斜拉長度越小,

3、驅動電極面積越大,則開關固有頻率越高,最高為3.0×105Hz;彎曲形電容式RFMEMS開關的特點是橋膜具有鉸鏈結構,彈性系數(shù)比較小,驅動電壓在3V~9V之間,固有頻率一般為1.0×105~1.5×105Hz。開關I-V測試結果顯示,直拉形開關、斜拉形開關、彎曲形開關的驅動電壓分別為20V、1OV、5V。C-V測試結果顯示,開關的關態(tài)電容在6.0×10-12F左右,開態(tài)電容在1.5×10-11F左右,開關的電容比很小,性能不好,開關存在

4、失效現(xiàn)象。光學顯微鏡和掃描電鏡觀察開關表面形貌,結果表明開關失效有三種:絕緣介質層失效、粘附失效、性能退化失效。引起失效的因素主要有兩個:一是材料結構中殘余應力會導致開關介質層斷裂、脫落,以及懸臂梁結構斷裂、扭轉變形等,可以選擇熱膨脹系數(shù)相匹配的材料、優(yōu)化開關制造工藝,以減小結構中殘余應力;二是表面作用力的影響,開關微結構表面之間存在毛細力、范德華力以及靜電力,會導致開關發(fā)生粘附失效,采用非親水性材料,增加表面粗糙度,減少表面殘余電荷,

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預覽,若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權或不適當內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論