二次曲面鏡的朗奇法檢驗靈敏度及精度分析研究.pdf

1、本文首先介紹了二次曲面鏡的朗奇檢驗法的發(fā)展歷史及研究現(xiàn)狀、朗奇檢驗的幾何和物理原理，其次還介紹了朗奇光柵制作原理及朗奇檢驗靈敏度的傳統(tǒng)分析方法和定義等相關(guān)理論。針對二次曲面鏡的朗奇檢驗方法的靈敏度,本文分析提出了一種新的評估方法，其物理意義為一個朗奇光柵周期所能檢測到的鏡面偏差大小能力。即如果給定的光柵能夠檢測到的鏡面偏差斜率越小，說明其檢測能力越大，其檢測靈敏度也越大。這種評估方法通過對研究光柵周期大小與鏡面偏差的關(guān)系，基于朗奇檢驗幾

2、何原理并使用光線追跡法推導出朗奇檢驗靈敏度公式，找出了制約檢驗靈敏度的因素和參數(shù)。然后分別針對拋物面鏡，雙曲面鏡和橢球面鏡，結(jié)合設計參數(shù)給出計算數(shù)據(jù)。最后得出關(guān)系曲線顯示朗奇檢驗靈敏度分別隨著光柵周期間隔,半通光口徑的變大而減小的一般性規(guī)律。
　　 本文針對朗奇檢驗精度做了進一步研究，目的在于定量分析特定參數(shù)下一個朗奇光柵周期所能檢測到的鏡面偏差大小數(shù)值。同樣，針對各種二次曲面鏡進行檢驗精度數(shù)值分析并得出結(jié)論，進一步驗證新方法定