電子散斑干涉及位移場分離.pdf

1、光學是物理學中古老的一門應用性較強的基礎(chǔ)學科,光學的起源應追溯到遠古時代(我國春秋戰(zhàn)國時期).之后的二千多年漫長歲月構(gòu)成了光學發(fā)展的萌芽時期,它是光學發(fā)展史上一段緩慢前進的年代.一電子散斑干涉計量是光學測量技術(shù)的一個重要分支.它利用相干光照射在粗糙的物體表面,在空間所形成的散斑,或物體表面自然存在的或人造的斑粒,實現(xiàn)物體表面位移和變形檢測.在過去的30多年中,除了對散斑場自身的特性和規(guī)律給予深入的研究外,有多種散斑測量技術(shù)逐漸發(fā)展和建立

2、起來,并在不同的領(lǐng)域中獲得了廣泛的應用. 電子散斑干涉測量技術(shù)是一種現(xiàn)代高科技光測方法,它具有全場、非接觸、高精度、高靈敏度、不避光、不照相、不需要特殊防震、快速實時并可在線檢測等優(yōu)點.被廣泛的應用于汽車、防偽、工業(yè)測量、機械、土木、水利、電器、天文、航空航天、兵器工業(yè)、信息處理、表面粗糙度、三維面型測量及生物醫(yī)學等領(lǐng)域的檢測中. 本文就電子散斑干涉及位移場分離等方面進行了研究和探討,主要內(nèi)容概括如下: 1.回顧

3、了散斑現(xiàn)象的發(fā)現(xiàn)、發(fā)展、分類及應用.從光的干涉測量著手,先后介紹了電子散斑干涉現(xiàn)象,電子散斑干涉測量的特點及優(yōu)點,電子散斑干涉測量的發(fā)展前景,激光散斑干涉測量方法. 2.介紹了相移相位測量法、傅里葉變換相位測量法、ESPI條紋圖的頻域濾波方法、分析了散斑干涉圖像的特征. 3.總結(jié)了位移場分離的幾種方法.提出了利用單幅電子散斑物體變形相位圖分離二維分量的方法.傳統(tǒng)電子散斑干涉技術(shù)測量得到的是物體變形的混合相位場.當物體具有