精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)減振系統(tǒng)設(shè)計(jì)與仿真軟件開(kāi)發(fā).pdf

1、精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)是IC制造裝備的核心部件，減振系統(tǒng)作為精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的一個(gè)不可或缺的組成部分，為平臺(tái)的平穩(wěn)運(yùn)行提供超靜環(huán)境保障，因而其設(shè)計(jì)成為精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)設(shè)計(jì)中關(guān)鍵的環(huán)節(jié)。隨著精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的運(yùn)行精度不斷提高達(dá)到了納米級(jí)別，專(zhuān)業(yè)仿真分析軟件工具的支持成為減振系統(tǒng)設(shè)計(jì)的關(guān)鍵。由于目前尚缺乏減振系統(tǒng)建模、仿真分析的專(zhuān)用軟件，本文開(kāi)發(fā)了精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)減振系統(tǒng)設(shè)計(jì)與仿真軟件。本文的主要工作如下：
　　通過(guò)對(duì)精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)減振系統(tǒng)設(shè)計(jì)過(guò)程進(jìn)行分析，發(fā)現(xiàn)

2、減振系統(tǒng)建模存在多領(lǐng)域統(tǒng)一建模、高精度、高效率三個(gè)關(guān)鍵點(diǎn)。另外，基于文件的減振系統(tǒng)設(shè)計(jì)實(shí)例管理繁瑣不便，用戶(hù)交互性差。針對(duì)這兩個(gè)關(guān)鍵問(wèn)題，論文提出了軟件的兩個(gè)主要功能需求，即模板庫(kù)和實(shí)例池；然后設(shè)計(jì)了軟件架構(gòu)和數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)；針對(duì)軟件的模板庫(kù)功能需求，先對(duì)減振系統(tǒng)組件進(jìn)行動(dòng)力學(xué)特性分析，然后在基于 Modelica語(yǔ)言的多領(lǐng)域統(tǒng)一建模平臺(tái)MWorks中建立組件的動(dòng)力學(xué)模型，接著對(duì)組件模型進(jìn)行封裝，提取動(dòng)力學(xué)特征參數(shù)形成組件模板從而建立減振系統(tǒng)

3、模板庫(kù)。用戶(hù)基于該模板庫(kù)能夠快速的搭建減振系統(tǒng)模型同時(shí)能夠保證建模的高精度。針對(duì)軟件的實(shí)例池功能需求，通過(guò)對(duì)減振系統(tǒng)設(shè)計(jì)實(shí)例的研究，探明了設(shè)計(jì)實(shí)例包含的內(nèi)容，并明確了設(shè)計(jì)實(shí)例中各部分內(nèi)容的關(guān)系模型。同時(shí)還研究了設(shè)計(jì)實(shí)例檢索的方法，為用戶(hù)查閱實(shí)例和重用實(shí)例提供了方便。
　　完成上面的研究工作之后，基于 C++Builder開(kāi)發(fā)了減振系統(tǒng)設(shè)計(jì)與仿真軟件。最后根據(jù)特定的減振系統(tǒng)設(shè)計(jì)指標(biāo)，搭建了減振系統(tǒng)模型并進(jìn)行仿真分析，分析結(jié)果表明該模