小功率平面微帶螺旋電感耦合微波等離子體源的研究.pdf

1、射頻/微波電感耦合等離子體自上世紀(jì)九十年代初出現(xiàn)以來(lái)，以其突出的優(yōu)點(diǎn)和優(yōu)越的性能受到越來(lái)越多的關(guān)注和研究，但是由于射頻/微波電感耦合等離子體技術(shù)發(fā)展比較晚，目前還沒(méi)有成熟的理論和計(jì)算設(shè)計(jì)方法。隨著現(xiàn)代科技和MEMS工藝的發(fā)展，人們對(duì)電感耦合等離子體源的性能提出了更高的要求，所以如何有效地設(shè)計(jì)電感耦合等離子體源就成為電感耦合等離子體技術(shù)中的重點(diǎn)和難點(diǎn)。本文針對(duì)目前人們對(duì)小功率平面螺旋微波激勵(lì)的ICPS的需求，對(duì)平面微帶螺旋微波激勵(lì)的ICP

2、S進(jìn)行了理論上的分析，進(jìn)而對(duì)其參數(shù)進(jìn)行了等效分析計(jì)算，分別用MATLAB和HFSS進(jìn)行了仿真，以觀察電感線圈的匝數(shù)n、微帶線的寬度w、匝間距s等參數(shù)對(duì)天線性能的影響，尤其是對(duì)品質(zhì)因數(shù)Q的影響。從MATLAB的仿真結(jié)果看，在固定的外直徑的情況下，匝數(shù)n、線寬w、間距s都分別存在一個(gè)最佳值，使得電感線圈的品質(zhì)因數(shù)Q取得最大值；不同的外直徑，參數(shù)的最佳值是不同的；用HFSS對(duì)電感線圈不同的尺寸進(jìn)行仿真；兩種結(jié)果進(jìn)行比較，基本吻合。最后設(shè)計(jì)出2