面形精度評價方法研究.pdf

1、對光學元件進行面形精度的分析，以評價它是否滿足使用要求，這是光學面形檢測的重要組成部分。光學元件根據(jù)它的不同用途，需要選擇合理的評價指標對其面形誤差進行分析?！　鹘y(tǒng)的光學系統(tǒng)的面形評價指標主要有峰谷值、均方根值以及中心點亮度等。本文深入研究了這些面形評價指標及它們之間的聯(lián)系。對峰谷值和均方根值之間存在的比例關系在理論上和統(tǒng)計上進行了研究，得到：拋光后的光學表面，由干涉儀測得的面形數(shù)據(jù)經澤尼克多項式擬合后，其峰谷值與均方根值大約是3～

2、5倍的關系，而由位相法得到的實測值經統(tǒng)計分析發(fā)現(xiàn)兩者更多的表現(xiàn)出7～10倍的關系。利用計算機優(yōu)化方法得到了中心點亮度和均方根值的極限曲線，并模擬出了同一均方根值對應的中心點亮度為最小和最大兩種極限情況下及極限情況之間的面形，通過對它們面形特征的比較分析，得到：均方根誤差一定的表面，其中心點亮度位于極限曲線之間，它的高低將由面形誤差的空間頻率分布決定。若面形誤差的中高頻分量較高，它的中心點亮度將較低。　　對用于評價中頻段面形誤差的功率譜