高精度球面面形絕對(duì)檢測(cè)方法研究.pdf

1、隨著光刻、遙感等技術(shù)的發(fā)展對(duì)光學(xué)元件檢測(cè)精度有了更高的要求。在現(xiàn)行的光學(xué)系統(tǒng)中，球面光學(xué)元件依然占最重要的地位，因此提高球面面形的檢測(cè)與制造精度對(duì)提高整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)的性能是非常重要的。球面面形絕對(duì)檢測(cè)技術(shù)通過(guò)多次測(cè)量可以去除干涉系統(tǒng)中參考面及標(biāo)準(zhǔn)鏡內(nèi)部誤差等因素引入的誤差，成為一種有效的高精度的面形檢測(cè)方法。論文在討論了球面面形絕對(duì)檢測(cè)方法基礎(chǔ)上，選取了三步法作為最終的提高面形檢測(cè)精度的方法。
　　 對(duì)于高精度的檢測(cè)，誤差是影響最

2、終測(cè)試精度的最重要因素，本文分類深入討論了可能影響球面面形絕對(duì)檢測(cè)結(jié)果的光源、移相、裝調(diào)、環(huán)境等一系列誤差。其中對(duì)于裝調(diào)誤差中難于處理的離焦誤差提出了新的理論計(jì)算方法，該方法可以有效減小離焦誤差，提高面形測(cè)量精度。依據(jù)誤差分析的結(jié)果，論文對(duì)絕對(duì)檢測(cè)系統(tǒng)中元件及裝調(diào)等因素提出了要求以滿足高精度檢測(cè)的目標(biāo)。
　　 根據(jù)三步絕對(duì)檢測(cè)的特點(diǎn)，設(shè)計(jì)了基于自準(zhǔn)直儀的高精度旋轉(zhuǎn)控制的6自由度裝調(diào)機(jī)構(gòu)，在該機(jī)構(gòu)的基礎(chǔ)上結(jié)合現(xiàn)有的ZYGO干涉儀搭