銀系低輻射薄膜（Low-E膜）的研究.pdf

1、20世紀(jì)70年代以來，世界能源危機(jī)日漸顯露，人類愈加意識到節(jié)約能源的重要性，節(jié)能作為國家戰(zhàn)略問題已引起各國高度重視，各種探討節(jié)能方法和發(fā)明節(jié)能產(chǎn)品的科學(xué)工作也因此進(jìn)入了一個嶄新的時期。而近幾年低輻射鍍膜的光學(xué)特性和結(jié)構(gòu)更是逐漸成為新的研究熱點。 本文探討了銀系低輻射膜(Low-E膜)的光學(xué)性能與微觀結(jié)構(gòu)間的內(nèi)在聯(lián)系，提出了通過改善Low-E膜微觀結(jié)構(gòu)進(jìn)而提高膜光學(xué)性能的設(shè)想和途徑。采用直流和射頻磁控濺射相結(jié)合的方法制備了性能優(yōu)良

2、的低輻射薄膜，對工業(yè)上連續(xù)化生產(chǎn)有一定的借鑒意義。論文取得的成果和創(chuàng)新點主要有： 1．采用可見光區(qū)透射率T<,max>戕和高可見光透射率的波長覆蓋范圍W<,70>作為評判復(fù)合低輻射薄膜的標(biāo)準(zhǔn)，制備結(jié)構(gòu)為TiO<,2>(25nm)/Ag(10nm)/Ti(2s)/TiO<,2>(25nm)的復(fù)合低輻射膜，其T<,max>達(dá)到84％，W<,70>達(dá)到240nm。超過目前工業(yè)上的低輻射薄膜的標(biāo)準(zhǔn)。 2．利用AFM等手段觀察分析

3、納米Ag膜顯微結(jié)構(gòu)，發(fā)現(xiàn)在銀膜上鍍覆1nm厚度的Ti膜能有效防止Ag膜被氧化，闡釋了2s濺射時間的阻擋層Ti膜保護(hù)納米Ag不被氧化的機(jī)理是Ti原子很容易就嵌入到Ag膜的空洞里，生成Ag-Ti合金，而且Ti比Ag活潑，更容易發(fā)生氧化反應(yīng)，大大減少了Ag原子與氧原子的反應(yīng)幾率，保護(hù)了Ag膜。 3．研究了熱退火對復(fù)合膜光學(xué)性能的影響，實驗表明高溫?zé)崽幚砟軌蛴行У南洼椛浔∧さ谋韺咏橘|(zhì)層中的不飽和鍵(Si-O、Ti-O等)，增大低輻射