已閱讀1頁,還剩55頁未讀, 繼續(xù)免費(fèi)閱讀
版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進(jìn)行舉報或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡介
1、我們采用掩膜法,通過磁控濺射制備樣品,在不加磁性材料的情況下,適當(dāng)選取線圈形狀參數(shù)來得到較大的電感,由于形狀參數(shù)的改變不影響樣品的適用頻率,因而也能達(dá)到增大品質(zhì)因數(shù)(Q值)的目的.此外為提高單位面積的電感量,我們還嘗試將兩個分層的線圈串聯(lián),使電感值有明顯的增大.該實驗中制作了單個線圈的樣品1和樣品2以及串聯(lián)的樣品3和樣品4,文中報告了這些薄膜電感的電感、電阻和Q值在100MHz-10GHz范圍內(nèi)的頻譜特性.在此頻率范圍內(nèi),四個樣品的電感
2、值顯示了平穩(wěn)的頻率特性,其數(shù)值分別為130nH、155nH、185NH、28nH;電阻在6GHz以下也保持平穩(wěn),分別為31Ω、51Ω、64Ω、104Ω,在這個頻率以上,電阻由于高頻趨膚效應(yīng)而有一定的增大;Q值在1GHz-6GHz之間在20以上,并且在6GHz附近樣品1、2、3的Q值分別達(dá)到最大160、110、100,樣品4的最大值出現(xiàn)在9GHz附近,其值為120.作為薄膜電感的應(yīng)用,我們制備了薄膜變壓器,通過簡單的測量可知雖然耦合系數(shù)和
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- IT用薄膜電感器的設(shè)計與制備研究.pdf
- 薄膜電感器的設(shè)計與制備.pdf
- 基于閉合磁路的框式薄膜電感的制備與性能研究.pdf
- 高頻軟磁薄膜電感的研究.pdf
- 薄膜微型電感器的性能優(yōu)化研究.pdf
- CoTaZr薄膜及其在薄膜電感器中的應(yīng)用研究.pdf
- MMIC用鐵磁薄膜電感研究.pdf
- 薄膜變壓器與電感器研究.pdf
- 鐵氧體膜片式電感器的制備研究.pdf
- 氮化鋅薄膜的制備研究.pdf
- 制備ITO薄膜的工藝研究.pdf
- 薄膜平面射頻集成電感器FFT模擬.pdf
- 射頻集成磁膜微電感的制備與性能研究.pdf
- NdFeB薄膜的制備及性能研究.pdf
- 硅酸鎵鑭薄膜的制備研究.pdf
- ZnO薄膜的制備及其摻雜研究.pdf
- ZnMnO薄膜的制備及性質(zhì)研究.pdf
- Al摻雜ZnO薄膜的制備研究.pdf
- MgZnO薄膜的制備及特性研究.pdf
- 化學(xué)水浴制備ZnS薄膜的研究.pdf
評論
0/150
提交評論