版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡介
1、ZnO 是一種Ⅱ-Ⅵ族的寬禁帶結(jié)構(gòu)的多功能材料,為六角纖鋅礦結(jié)構(gòu),具有優(yōu)異的壓電、光電、氣敏、壓敏等特性,近年來受到廣泛關(guān)注。Al 摻雜的ZnO(Al-doped znO,簡稱 AZO)透明導(dǎo)電膜,作為一種重要的光電子信息材料也得到了廣泛的研究,ZAO 薄膜除了具有與目前得到廣泛應(yīng)用的 ITO 薄膜可比擬的光學(xué)、電學(xué)性質(zhì)外,還具有成本低、資源豐富、無毒性、高的熱穩(wěn)定性和化學(xué)穩(wěn)定性等優(yōu)勢,是最有開發(fā)潛力的透明導(dǎo)電薄膜,在太陽能電池、液晶顯
2、示器、電磁防護(hù)屏等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。本論文以高純的 ZnO 粉體和 Al<,2>O<,3>粉體為原料,采用“模壓成型+高溫?zé)Y(jié)”的優(yōu)化工藝獲得質(zhì)量優(yōu)良的ZnO系靶材,用射頻濺射法在普通玻璃襯底上制備ZnO透明導(dǎo)電薄膜,并用X射線衍射(XRD)、原子力顯微鏡 (AFM)、四探針測試儀、紫外一可見光分光儀等測試手段研究摻雜和非摻雜 ZnO 薄膜的結(jié)構(gòu)與光電性能。 實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:以純度為99.99%的ZnO粉體和 99.99%的
3、 Al<,2>O<,3> 粉體為原材料,采用模壓成型技術(shù)和優(yōu)化的燒結(jié)工藝,制成了 ZnO 靶材和摻雜Al<,2>O<,3>質(zhì)量分?jǐn)?shù)為1%、2%、3%的氧化鋅鋁 (AZO) 復(fù)合靶材,其收縮率分別為 12.54%、12.22%、12.02%、11.90%,滿足了實(shí)驗(yàn)用射頻磁控濺射法制備 ZnO 系薄膜靶材的高致密度要求。 射頻磁控濺射法制備 ZnO 系薄膜時(shí),首先采用摻雜 Al<,2>O<,3> 質(zhì)量分?jǐn)?shù)為 1%自制AZO靶材為濺
4、射靶,優(yōu)化了射頻磁控濺射制備ZnO系薄膜的工藝,在普通玻璃襯底上,成功制備了 AZO 薄膜,研究了主要濺射參數(shù)對薄膜的取向的影響規(guī)律。獲得的最佳工藝條件為:本底真空 4×10<'-3>Pa、濺射工作壓強(qiáng) 1.0Pa.、濺射功率200w、濺射時(shí)間60min、基片加熱溫度300℃。最后利用研究所得最佳工藝條件,制備了 ZnO 薄膜和 AZO 系薄膜,并比較了濺射靶材中 Al<,2>O<,3>質(zhì)量分?jǐn)?shù)對薄膜取向、表面形貌以及光電性能的影響。
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- Al摻雜ZnO薄膜制備工藝研究.pdf
- Al摻雜ZnO薄膜的制備與光電性質(zhì)研究.pdf
- Sn、Al共摻雜ZnO薄膜的制備及其性能研究.pdf
- 高溫PLD制備Al摻雜ZnO薄膜及其性質(zhì)研究.pdf
- (Al,Co)共摻雜ZnO薄膜制備與性能研究.pdf
- 磁控濺射法制備ZnO薄膜與Al摻雜ZnO(AZO)薄膜及其性能研究.pdf
- ZnO薄膜和Al摻雜ZnO(ZAO)薄膜的射頻磁控濺射制備及其性能研究.pdf
- Al摻雜ZnO透明導(dǎo)電薄膜的制備及性能研究.pdf
- ZnO及V、Al摻雜ZnO薄膜的發(fā)光性能研究.pdf
- Al、N共摻雜制備p—ZnO薄膜及性能研究.pdf
- ZnO薄膜的制備及其摻雜研究.pdf
- 溶膠—凝膠法制備Al摻雜ZnO(AZO)薄膜及其性能研究.pdf
- 用溶膠-凝膠法制備Al原子摻雜的ZnO納米薄膜.pdf
- Al-N共摻雜ZnO薄膜的制備及其光電性質(zhì)的研究.pdf
- Al摻雜與Al-Sc共摻雜ZnO薄膜的制備、微觀組織及光電性能.pdf
- Al摻雜ZnO透明導(dǎo)電紅外反射薄膜的制備與性能研究.pdf
- Al、H共摻雜ZnO透明導(dǎo)電薄膜的研究.pdf
- ZnO:Al薄膜的制備與特性研究.pdf
- Al摻雜的ZnO薄膜的電輸運(yùn)性質(zhì).pdf
- 溶膠-凝膠法制備Al-F共摻雜的ZnO薄膜及其性能研究.pdf
評論
0/150
提交評論