微機(jī)械彎曲加載機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì).pdf

1、隨著微器械發(fā)展，設(shè)計(jì)時(shí)對(duì)相應(yīng)機(jī)械微構(gòu)件不但要實(shí)現(xiàn)功能性設(shè)計(jì)，還需要考慮材料特性參數(shù)對(duì)所設(shè)計(jì)部件的影響。而微構(gòu)件機(jī)械的力學(xué)特性數(shù)據(jù)對(duì)MEMS結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)具有重要的影響，因此需要一種可以獲取微構(gòu)件力學(xué)特性的測(cè)試方法。本論文以微梁彎曲法為基礎(chǔ)，設(shè)計(jì)了一套包含具有微力和微位移測(cè)量的微驅(qū)動(dòng)定位、加載以及夾持機(jī)構(gòu)的力學(xué)測(cè)量系統(tǒng)，能夠測(cè)量微結(jié)構(gòu)力學(xué)性能指標(biāo)包括變形與應(yīng)變、彈性模量、泊松比等參數(shù)。建立適用于微機(jī)構(gòu)力學(xué)特性測(cè)量方法基本模型，為今后微納力學(xué)特性

2、的高準(zhǔn)確度測(cè)量研究與開發(fā)提供研究基礎(chǔ)。
　　論文的主要研究?jī)?nèi)容包括:
　　1.利用Ansys仿真分析了二級(jí)與三級(jí)對(duì)稱式柔性鉸鏈放大機(jī)構(gòu)，給出不同級(jí)放大比對(duì)總體放大參數(shù)的影響規(guī)律。
　　2.完成了適用于微構(gòu)件彎曲測(cè)量的機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，包括加載機(jī)構(gòu)和試件夾持機(jī)構(gòu)，其中加載機(jī)構(gòu)采用宏微結(jié)合二級(jí)加載方式，宏驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)快速逼近，微驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)彎曲測(cè)試所需的精密位移進(jìn)給;夾持機(jī)構(gòu)可以有效實(shí)現(xiàn)所設(shè)計(jì)的試件的準(zhǔn)確定位和可靠夾持。
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