2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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文檔簡介

1、Y2O3是一種稀土氧化物,其薄膜具有優(yōu)良的物理、化學性能,而且高溫抗氧化能力強,可用作金剛石的抗氧化保護涂層。此外,Y2O3薄膜的透射率和介電常數(shù)較高,因此廣泛應(yīng)用于光電設(shè)備和半導體設(shè)備中。
  本文利用磁控濺射的方法在Si(100)襯底和玻璃襯底上制備了Y2O3薄膜,并利用X射線衍射(XRD),掃描電子顯微鏡(SEM),能量色散X射線光譜(EDX)和紫外可見近紅外分光光度計分別對薄膜的結(jié)構(gòu),表面形貌,成分和光學特性進行了研究。在

2、最佳制備條件下,兩種襯底上生長的Y2O3薄膜都具有單斜相結(jié)構(gòu),但擇優(yōu)生長方向和結(jié)晶性存在一定差異。玻璃襯底上沉積的Y2O3薄膜,擇優(yōu)生長方向為(202),結(jié)晶性稍差;而Si襯底上沉積的Y2O3薄膜,擇優(yōu)生長方向為(111),結(jié)晶性良好,在退火后發(fā)生了由單斜相向立方相的結(jié)構(gòu)相變,且結(jié)晶性和化學計量都有明顯改善。
  利用磁控共濺射的方法制備了Sn摻雜Y2O3(Sn∶Y2O3)薄膜和V摻雜Y2O3(V∶Y2O3)薄膜。在一定條件下Sn

3、和V的摻雜都使Y2O3薄膜的結(jié)晶性得到改善;V摻雜后Y2O3薄膜的表面形貌由原來的片狀轉(zhuǎn)變?yōu)橹鶢?,而且晶粒排布更加緊密,當摻雜時間為15 min時,薄膜中出現(xiàn)了立方相結(jié)構(gòu),這個發(fā)現(xiàn)對于提高玻璃襯底上的Y2O3薄膜的穩(wěn)定性具有重要的意義。Sn和V摻雜對Y2Oa薄膜的光學特性也產(chǎn)生了一定影響,Sn摻雜后Y2Oa薄膜近紅外區(qū)域內(nèi)的透射率增加,另外Sn和V的摻雜都使Y2O3薄膜的帶隙值明顯增加,經(jīng)計算Sn∶Y2O3薄膜和V∶Y2Oa薄膜的帶隙變

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