基于超分辨圖像復原的顯微圓孔孔徑測量方法.pdf

1、隨著現(xiàn)代科學技術和工業(yè)技術的發(fā)展，微孔器件越來越廣泛地被用于在航空、電子、儀表、生物醫(yī)療以及紡織等工業(yè)領域中。
　　數(shù)字顯微圖像測量是重要的微孔孔徑非接觸測量方法。受顯微鏡分辨力影響，直接采用原始圖像測量，其精度難以滿足直接測量需求。受卷積效應影響，微結構的光學邊緣與微結構的物理邊緣不一致。建立準確的微結構邊緣判據(jù)，依據(jù)光學圖像精確確定微結構的邊緣是普通光學顯微成像測量的關鍵問題。
　　本文利用0.550μm單色光作為照明光

2、源對圓孔結構顯微成像，然后利用超分辨復原算法處理原始圖像，消除衍射效應影響，提高圓孔結構圖像分辨力。通過對圓孔顯微圖像超分辨復原，本文建立了圓孔復原圖像的邊緣判據(jù)IE=0.399，并據(jù)此探測圓孔邊緣進而測量直徑，提高了對微米級圓孔直徑的光學顯微測量的測量精度。該方法實現(xiàn)了對圓孔結構快速、準確地顯微圖像測量。
　　在上述研究基礎上，本文開發(fā)了核孔膜自動檢測系統(tǒng)，實現(xiàn)了對核孔膜核孔的精確探測和準確孔徑測量，為核孔膜產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中檢測