微電子工藝課件

1、“微電 藝 微電 藝”復(fù) “微電 微電子工 子工藝”復(fù)習(xí)微固學(xué)院 鄧小川 微固學(xué)院 鄧小川d @ t d1xcdeng@uestc.edu.cn課程總體介紹 課程總體介紹 課程總體介紹 課程總體介紹二 教學(xué)內(nèi)容和要求 教學(xué)內(nèi)容和要求 二、教學(xué)內(nèi)容和要求 教學(xué)內(nèi)容和要求? 理論教學(xué) 理論教學(xué)（32學(xué)時(shí) 學(xué)時(shí)） ? 理論教學(xué) 理論教學(xué)（32學(xué)時(shí) 學(xué)時(shí)）； ）；系統(tǒng)學(xué)習(xí)硅集成電路平面工藝，包括硅片制備、氧 系統(tǒng)學(xué)習(xí)硅集成電路平面工藝，包括硅片

2、制備、氧化、淀積、光刻、刻蝕、離子注入、金屬化、化學(xué)機(jī) 化、淀積、光刻、刻蝕、離子注入、金屬化、化學(xué)機(jī)械平坦化等各工藝的基本原理和方法 械平坦化等各工藝的基本原理和方法 械平坦化等各工藝的基本原理和方法 械平坦化等各工藝的基本原理和方法。? 實(shí)驗(yàn)教學(xué)（ 實(shí)驗(yàn)教學(xué)（16學(xué)時(shí)） 學(xué)時(shí)）熟悉基本的半導(dǎo)體工藝（清洗、氧化以及光刻）； 熟悉基本的半導(dǎo)體工藝（清洗、氧化以及光刻）；晶體管器件參數(shù)測(cè)試方法 晶體管器件參數(shù)測(cè)試方法；版圖 版圖EDA工具