一種準分子激光微加工系統(tǒng)

1、北京工業(yè)大學碩士學位論文一種準分子激光微加工系統(tǒng)姓名：李晶申請學位級別：碩士專業(yè)：光學指導教師：劉世炳;陳濤20090501A b s t r a c tA b s t r a c tB a s e d o ne x c i m e rm i c r o - p r o c e s s i n gt h e o r y , t h i sp a p e r e x p a t i a t et h ee l e m e n t sa n

2、 ds t r u c t u r eo f A n E x c i m e rM i c r o —P r o c e s s i n gS y s t e m ．T h es y s t e mi n c l u d e ss e v e r a ln e wf u n c t i o n s ：e x c i m e r m i c r o - p r o c e s s i n g ；O b s e r v i n ga n d

3、 m e a s u r i n gb ya m i c r o s c o p eh a v et h e s a m ew a yo ft h e l i g h to ft h ee x c i m e r ；h o r i z o n t a l b r e a d t hc h a n g i n g a v a i l a b l ec o n c e a l i n g b o a r d ．T h e p r i m a

4、 r yc o v e r a g e o f t h e p a p e r i n c l u d i n g ：I ．S u m m a r i z i n g t h e b a c k g r o u n d o ft h e e x c i m e r m i c r o - p r o c e s s i n g s y s t e m ．A n a l y z i n g t h ef u n c t i o n so

5、f t h ec u r r e n te x c i m e rm i c r o - p r o c e s s i n gs y s t e m ．A n a l y z i n gt h ef e a s i b i l i t yo f t h en e w s y s t e m ．2 ．T h ec u r r e n te x c i m e rm i c r o —p r o c e s s i n gs y s t

6、e mh a s s e v e r a lp r o b l e m s ：t h ew o r kp i e c e c a r ln o tb em o v e db a c kt Ot h es a m e p o s i t i o na si t s h o u l db ea f t e r o b s e r v i n ga n dm e a s u r i n g ；I t c a n n o t o b s e r

7、 v ea n dm e a s u r eb y a m i c r o s c o p eh a v et h es a n l e w a y o f t h el i g h to ft h ee x c i m e r e t c ．T h en e w e x c i m e rm i c r o —p r o c e s s i n gs y s t e mc a nd e a l 、析t I lt h o s ep r

8、o b l e m s ．T h ep a p e rw i l l e x p a t i a t e t h ee l e m e n t s a n ds t r u c t u r e o ft h e n e ws y s t e m ．3 ．T h en e w s y s t e m i n c l u d e sa 5 3 X m i c r o s c o p e ，I t ss t r u c t u r ew i

9、l lb e a n a l y z e da n dr e m o l d e d t Of i xt h en e w s y s t e m ，i n c l u d i n g i t so p t i c s ·s t r u c t u r ea n d p h y s i c a l —s t r u c t u r e ．4 ．T h en e w s y s t e mi n c l u d e sah o

10、r i z o n t a lb r e a d t h c h a n g i n ga v a i l a b l ec o n c e a l i n gb o a r d ．T h ep a p e r e x p a t i a t e s i t se l e m e n t s a n d s t r u c t u r e ，i ti sc r e a t e d b y U S ．5 ．T h r o u g hr e

11、 l e v a n te x p e r i m e n t s ，d r a w nt ot h e g r a p h i c s p r o c e s s i n g ，a n dd a t at h r o u g he x p e r i m e n t sa n d a n a l y s i s ，d e m o n s t r a t i o n o f t h e e x c i m e rl a s e rm i

12、 c r o m a c h i n i n gs y s t e m l e v e lp r o c e s s i n gt e c h n o l o g y ．A f t e r t h ee x c i m e rm i c r o —p r o c e s s i n gs y s t e mi sd e v i s e d a n d a c h i e v e d ．I tp r o v i d e san e w w

13、 a y o f e x c i m e rm i c r o - p r o c e s s i n g ．T h e n e w s y s t e mc a n o b s e r v ea n d m e a s u r e b y am i c r o s c o p ei nt h es a m e w a y o f t h e l i g h to f t h ee x c i m e r , a n d i t h a

14、 s a h o r i z o n t a lb r e a d t hc h a n g i n ga v a i l a b l ec o n c e a l i n gb o a r d ．T h e n e w s y s t e m h a sc h a n g e d a l lt h e p r o b l e m so ft h ec u r r e n te x c i m e r m i c r o - p r o

15、 c e s s i n g ．T h e c r e a t i o n o f e x c i m e r m i c r o - p r o c e s s i n g s y s t e m i n c l u d e s t h r e e s t e p s ：d e c o m p o u n d i n g t h e s y s t e m i n t o s e v e r a lp a r t s ；a c h i