準(zhǔn)分子激光微加工若干特性研究.pdf

1、本文對準(zhǔn)分子激光投影直刻微加工和掃描直寫微加工的若干特性進行了研究，全文主要內(nèi)容包括： （1）介紹了準(zhǔn)分子激光的微加工特性及其在微加工領(lǐng)域的應(yīng)用，揭示了準(zhǔn)分子激光與金屬材料、聚合物材料（PMMA）之間的相互作用機理，著重從準(zhǔn)分子激光熱效應(yīng)的角度來描述了準(zhǔn)分子激光投影直刻和掃描直寫兩種加工模式的特性。 （2）研究了準(zhǔn)分子激光投影直刻微孔加工中激光工藝參數(shù)與微孔入口孔徑、形貌、表面橫向影響區(qū)、最大刻蝕深度等微結(jié)構(gòu)樣品特性的關(guān)

2、系，通過一系列的工藝實驗，獲得了激光工藝參數(shù)與微結(jié)構(gòu)樣品特性的關(guān)系曲線。 （3）研究了準(zhǔn)分子激光束掃描微加工中掃描速度、掃描次數(shù)等掃描特性與圖形質(zhì)量（如圖形線寬、橫向熱影響區(qū)等）的關(guān)系，通過對金屬材料與有機玻璃材料的準(zhǔn)分子激光掃描直寫工藝實驗結(jié)果的分析，驗證了準(zhǔn)分子激光掃描圖形加工的微加工特性。研究發(fā)現(xiàn)，較大的掃描速度、較小的脈沖頻率、較低的脈沖能量有利于減小圖形的線寬和熱影響區(qū)。通過上述工藝參數(shù)的優(yōu)化在有機玻璃上得到了圖形質(zhì)量